电励士上海电子有限公司

　　一、brooks气体质量流量计概览
　　Brooks的数字与模拟热式质量流量控制器具有业界一的性能—我们的许多产品都已连续工作了20年以上。我们的新型热式质量流量设备在响应时间、精度、可重复性、调节比及自诊断方面均具有显著的优势。
　　我们的热式质量流量产品还通过了多种防护（IP）认证，适用于多种危险场所。
　　二、brooks气体质量流量计产品特点
　　·   较低的泄漏率
　　·   结构紧凑
　　·   内螺纹排气口抛光处理
　　·   常闭阀
　　·   对安装位置不敏感
　　三、brooks气体质量流量计技术参数
　　·   数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
　　·   介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
　　·   流量范围:0.03-100slpm
　　·   量程比：50:1
　　·   **工作压力: 1500psi(10.432Mpa)
　　·   气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG
　　·   电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge
　　·   精度:±1%FS
　　·   重复性：0.25% of rate
　　·   响应时间：1-3s
　　·   差压要求：3-6bar（压差要求与介质、量程有关）
　　·   操作温度范围：5~65℃
　　·   输出信号：0-5VDC或4-20mA
　　·   电源：+/-15V
　　http://www.sxork.com/SonList-609282.html
　　http://www.ybzhan.cn/st102580/erlist_609282.html BROOKS SLA5851S质量流量计